半導体ウェハ チタンスパッタ膜エッチング剤

メルストリップ TI-3991

薬品
半導体
エッチング
チタン

メルストリップ TI-3991

メルストリップ TI-3991は半導体ウェハ上のチタンスパッタ膜のエッチング剤です。

◆製品の特徴
① 過酸化水素別添のアルカリ性チタンエッチング剤です。
② 標準条件(浸漬エッチング) 25 ℃において約30 nm/min、40 ℃において約85 nm/minのエッチング速度が得られます。
③ 標準条件において、銅、アルミニウム、はんだおよび鉛フリーはんだを殆ど腐食せずに選択的なエッチングが可能です。
④ 環境に有害な物質を使用していません。
フッ化物フリー

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