半導体ウェハ チタンスパッタ膜エッチング剤

メルストリップ TI-3960

薬品
半導体
エッチング
チタン

メルストリップ TI-3960

メルストリップ TI-3960は半導体ウェハ上のチタンスパッタ膜のエッチング剤です。

◆製品の特徴
① フッ素系のチタンエッチング剤です。
② 標準条件にて150~200nm/minのエッチング速度が得られます。

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